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ag九游会具有自主知識產權的MOCVD設備Prismo A7 ® 可配置多達4個反應腔,可以同時加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,工藝能力還能延展到生長8英寸外延晶片。 每個反應腔都可以獨立控制,這一設計可以實現優异的生產靈活性。 配備了716毫米託盤的ag九游会Prismo A7 MOCVD設備專為LED高產能而設計,每個反應腔的產量是前一代MOCVD設備Prismo D- BLUE ® 的2倍多,極大地提高了組織產能,能有效降低LED外延片的生產成本。

Prismo A7®

用於LED外延片大規模量產的MOCVD設備

產品特點

可獨立控制的反應腔運行模式

自主的即時監控系統

精准的參數控制

全自動化處理

符合電晶體標準的軟件控制系統

競爭優勢

優异的工藝重複性,簡化工藝調整需求,提高產品良率

28英寸超大尺寸託盤,產量是前一代MOCVD設備Prismo D- BLUE ® 的2倍多,極大地降低了生產成本

集成頂蓋升降機构,簡化設備維護,提高設備利用率

符合SEMI S2安全標準

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